Application de carbure de silicium sur le disque de meulage

Application de carbure de silicium sur disque de
meulage Disque de meulage. Les disques de meulage sont des équipements de processus importants pour la production de plaquettes de silicium pour VLSI dans l’industrie des semi-conducteurs. Les disques abrasifs en céramique de carbure de silicium peuvent être meulés et polis à grande vitesse en raison de la dureté élevée des disques abrasifs et du faible coefficient d’usure et de dilatation thermique des plaquettes de silicium. En particulier ces dernières années, la taille des plaquettes de silicium est devenue de plus en plus grande, ce qui impose des exigences plus élevées en matière de qualité et d’efficacité du broyage des plaquettes de silicium. L’utilisation de disques de meulage en céramique en carbure de silicium améliorera considérablement la qualité et l’efficacité du meulage des plaquettes de silicium.