Matériau céramique de bague de mise au point en carbure de silicium
Matériau céramique à anneau de focalisation en carbure de silicium Avec le développement de la technologie des semi-conducteurs, la gravure au plasma est progressivement devenue une technologie largement utilisée dans les processus de fabrication des semi-conducteurs. Le plasma généré par la gravure au plasma est hautement corrosif, et il provoquera également une corrosion sérieuse de



